氣體產(chǎn)品種類繁多,大致可分為普通工業(yè)和特殊兩種。一般工業(yè)氣體的生產(chǎn)銷售量很大,但對純度的要求不高。特種氣體生產(chǎn)銷售量雖小,但根據(jù)用途的不同,對不同特種氣體的純度或組成、有害雜質(zhì)允許的高含量、產(chǎn)品的包裝、儲存、運(yùn)輸?shù)榷加袊?yán)格的要求,屬于高科技、高附加值產(chǎn)品。
一般來說,特殊氣體可分為三類:超高純氣體、標(biāo)準(zhǔn)校正氣體和具有特定組成的混合氣體。氣體產(chǎn)品是現(xiàn)代工業(yè)的重要基礎(chǔ)原料,應(yīng)用范圍非常廣泛,冶金、鋼鐵、石油、化工、機(jī)械、電子、玻璃、陶瓷、建材、建筑、食品加工、醫(yī)藥等部門均使用大量的常用體或特種。
高純氣體是氣體工業(yè)名詞,一般指利用現(xiàn)代凈化技術(shù)可以達(dá)到的任何等級的純度。
由于它覆蓋面廣,一般將氣體的生產(chǎn)和供應(yīng)與供電、供水一樣,作為工業(yè)投資環(huán)境的基礎(chǔ)設(shè)施,被視為國民經(jīng)濟(jì)“命脈”而列為公用事業(yè)行業(yè)。
近年來,隨著國民經(jīng)濟(jì)的快速發(fā)展,產(chǎn)品的覆蓋面擴(kuò)大,使用量增加,新產(chǎn)品繼續(xù)上市,純度增加,市場需求擴(kuò)大,產(chǎn)值增長率大大超過同期國民經(jīng)濟(jì)總量的增長率,年增長率達(dá)到12%。天然氣工業(yè)總產(chǎn)值在國民經(jīng)濟(jì)生產(chǎn)總值中所占比例不大,但對近年來迅速發(fā)展的微電子、航空航天、生物工程、新材料、精密冶金、環(huán)境科學(xué)等技術(shù)部門產(chǎn)生了重要影響。這是這些部門不可缺少的原材料天然氣由于各種新興工業(yè)部門和現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)的需要和推動(dòng),天然氣工業(yè)產(chǎn)品在品種、質(zhì)量、數(shù)量等方面取得了顯著的飛躍發(fā)展。
在亞微米級的集成電路生產(chǎn)中,為了保證最終氣體工藝設(shè)備的氣體純度,要求供應(yīng)10-9高純氣體,使氣體中的雜質(zhì)含量
(包括灰塵顆粒)控制在指定的數(shù)字內(nèi),通常在設(shè)備前設(shè)置末端純化裝置或末端高精度氣體過濾器。
為了檢測高純氣體的純度和雜質(zhì)含量,發(fā)送系統(tǒng)除設(shè)置水含量或氧氣雜質(zhì)含量測定等必要的連續(xù)檢測儀器外,還應(yīng)設(shè)置定期采樣的檢測樣品入口,按規(guī)定時(shí)間采樣,分析高純氣體中的各種雜質(zhì)含量。